小型真空高低溫探針臺技術(shù)參數(shù)用于測試半導(dǎo)體晶圓、芯片在高低溫下的電學(xué)性能，如載流子遷移率、電阻率、擊穿電壓等，有助于研究半導(dǎo)體材料的特性和器件的性能優(yōu)化。
小型真空高低溫探針臺技術(shù)參數(shù)
腔體
樣品臺尺寸：1.5英寸
樣品固定方式：彈簧壓片
觀察窗口：2英寸
真空度：10-3torr（機械泵）/10-6torr（分子泵）
探針臂接口：最多6個探針臂接口
其它接口：多6個探針臂接口
制冷方式：電信號接口、真空接口、控溫接口液氨
控溫方式：溫控器
溫度范圍：77K-473K/573K/873K/
溫度分辦率：0.1K/0.01K/0.001K
穩(wěn)定性：士1K/士0.1K/士0.01K
顯微鏡
移動形式：全范圍移動
光源：同柚光源
CCD：1200萬像素
顯微鏡倍率：0.6X-5X
光學(xué)放大倍率：18-200倍
調(diào)焦行程：42mm
探針臂
X Y- 行程：Y50mm+XYZ12mm*12mm*12mm
組成結(jié)構(gòu)：外置採針臂，真空波線管績構(gòu)
移動精度：2um/0.5um
探針夾具
線纜：同軸線/三軸線
漏電精度：10pA/100fA/10fA
探針固定：螺絲固定
接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子
探針
頻率支持：DC-100Mhz
針尖大小：0.2um/1um/2um/5um/10um/20um/50um/100um
材質(zhì)：鎢鋼/鈹銅
