一、武漢智能自動(dòng)化探針臺(tái)各種規(guī)格可定制核心功能與技術(shù)優(yōu)勢(shì)
自動(dòng)化與高精度定位
晶圓裝卸:支持4-12英寸晶圓,配備1個(gè)載片盒(25-26個(gè)片槽),可編程雙向加載,實(shí)現(xiàn)快速單片晶圓手動(dòng)上下片,并具備防晶圓交叉保護(hù)功能。
XYZ三軸定位:定位精度可達(dá)±3微米,結(jié)合高精度CCD視覺定位系統(tǒng),可自動(dòng)識(shí)別并定位晶圓上的晶粒,適應(yīng)不同尺寸晶圓的測(cè)試需求。
多測(cè)試能力集成
電學(xué)測(cè)試:可進(jìn)行IV(電流-電壓)、CV(電容-電壓)、RF(射頻)等測(cè)試,支持多針同步測(cè)試(如20針同步探邊器),大幅縮短測(cè)試周期。
光學(xué)與電性測(cè)試:部分設(shè)備(如標(biāo)譜全自動(dòng)探針臺(tái))可采集光、電數(shù)據(jù),對(duì)芯片進(jìn)行光學(xué)及電性測(cè)試,適用于正、倒裝SMD、COB、CSP、MIP等芯片。
高效與穩(wěn)定性
測(cè)試效率:通過(guò)并行測(cè)試與自研高效軟件系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)高速測(cè)試,測(cè)試壽命長(zhǎng)久,針痕細(xì)膩穩(wěn)定。
機(jī)械結(jié)構(gòu):采用優(yōu)質(zhì)鑄件搭配高精密絲桿及導(dǎo)軌,構(gòu)建堅(jiān)固耐用的機(jī)械結(jié)構(gòu),確保設(shè)備穩(wěn)定性與使用壽命。
二、武漢智能自動(dòng)化探針臺(tái)各種規(guī)格可定制典型應(yīng)用場(chǎng)景
半導(dǎo)體制造與測(cè)試
晶圓級(jí)測(cè)試:在晶圓制造過(guò)程中,對(duì)芯片進(jìn)行電氣性能測(cè)試,及時(shí)剔除缺陷芯片,避免后續(xù)封裝成本浪費(fèi)。
封裝后測(cè)試:在集成電路封裝過(guò)程中,檢測(cè)芯片性能,確保封裝工藝質(zhì)量與可靠性。
研發(fā)與質(zhì)量控制
器件性能優(yōu)化:幫助工程師優(yōu)化器件性能,篩選良品,提高生產(chǎn)效率。
失效分析:快速定位芯片制造缺陷,如光刻偏移、刻蝕殘留等,為工藝改進(jìn)提供依據(jù)。
新興領(lǐng)域應(yīng)用
光電元件測(cè)試:測(cè)試LED、光電探測(cè)器、激光器等光電元件的性能,推動(dòng)光電通信、顯示技術(shù)發(fā)展。
新材料研發(fā):測(cè)量新型材料的電學(xué)性能,如電阻、電容、漏電流等,支持超導(dǎo)材料、納米材料、二維材料的研究。
三、發(fā)展趨勢(shì)
智能化與集成化
AI算法應(yīng)用:結(jié)合機(jī)器視覺與AI算法,實(shí)現(xiàn)探針與器件的自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)與接觸力智能優(yōu)化,提升測(cè)試效率與精度。
多功能集成:配備顯微鏡、CCD、熱卡盤等附件,滿足不同領(lǐng)域的科研和工業(yè)生產(chǎn)需求。
高精度與多尺度測(cè)試
納米級(jí)測(cè)試:在納米尺度上提供高精度測(cè)試數(shù)據(jù),支持多尺度研究,推動(dòng)納米材料與納米器件的發(fā)展。
多物理場(chǎng)耦合:集成電學(xué)、熱學(xué)、光學(xué)測(cè)試模塊,滿足復(fù)雜測(cè)試需求,如鐵電材料極化翻轉(zhuǎn)過(guò)程中的光電流監(jiān)測(cè)。
低成本與便攜化
便攜式設(shè)計(jì):開發(fā)小型化、電池供電的便攜式探針臺(tái),滿足物聯(lián)網(wǎng)邊緣設(shè)備現(xiàn)場(chǎng)快速測(cè)試需求。
定制化解決方案:根據(jù)客戶需求提供深度定制,實(shí)現(xiàn)一站式解決方案,降低使用成本。