測量原理 測針接觸式
測量長度 0.2 mm 至 120 mm (0.0079 in x 4.72 in)
測量范圍 Z 方向 50mm適用于350mm測臂；25mm適用于175mm測臂
測量系統(tǒng)（Z方向） 電感傳感器*, 高精度, 高線性度
測針分辨率( Z 方向) 0.19 um /175mm測臂
系統(tǒng)分辨率（Z方向） 0.04 um
直線度誤差（X方向）: < 1um/120mm
X/Z方向定位精度 1 um
測力 1mN to 120mN
測量角度 下降角度到880, 上升角度為770
測量速度（X方向） 0.2mm/s...4mm/s
接觸速度（Z方向） 0.1mm/s to 1 mm/s
定位及返回速度（X方向） 0.2 mm/s 至 8 mm/s
定位速度(Z方向) 0.2 mm/s 至 10 mm/s
驅(qū)動器可調(diào)角度 +/-45°
測臂長度 175 mm;350 mm
測針針尖半徑 25 um
角度測量誤差 U95<3.0min
半徑測量誤差 U95=±5 um R10mm-100mm
U95=±7um R100mm-1000mm
距離測量誤差 ±(2+l/50)um
