高精度加熱溫控系統(tǒng):采用電磁感應(yīng)加熱與熱板傳導(dǎo)復(fù)合技術(shù),配備進(jìn)口陶瓷加熱模塊,可實(shí)現(xiàn) 45℃-400℃寬域精準(zhǔn)控溫(精度 ±0.5℃),滿足不同封裝類型(如 QFP 封裝需 175℃±1℃、BGA 封裝需 190℃±0.5℃)的模壓需求。針對模壓模具的溫度均勻性要求,通過三維熱場模擬優(yōu)化加熱布局,確保模具型腔溫差≤±1℃,塑封料固化度達(dá) 98% 以上。相比傳統(tǒng)加熱設(shè)備,封裝體尺寸精度偏差降低 40%(控制在 ±0.05mm 以內(nèi)),引腳共面度提升 30%,有效減少因溫度問題導(dǎo)致的封裝缺陷。
智能動態(tài)調(diào)節(jié)技術(shù):搭載高精度鉑電阻溫度傳感器(精度 ±0.1℃)與高速 PLC 控制系統(tǒng),實(shí)時采集模具溫度、模壓壓力及塑封料注射速度數(shù)據(jù),實(shí)現(xiàn)加熱功率的動態(tài)匹配。溫度響應(yīng)速度≤0.3s,升降溫速率可達(dá) 5℃/s,能快速跟隨模壓工藝的溫度階躍需求(如預(yù)熱、恒溫模壓、固化保溫)。操作人員通過 12 寸無塵觸摸屏預(yù)設(shè)多段溫度 - 壓力聯(lián)動曲線,系統(tǒng)支持與模壓機(jī)臺聯(lián)動,實(shí)現(xiàn)加熱與模壓節(jié)拍的精準(zhǔn)同步,滿足批量封裝的自動化生產(chǎn)需求。
潔凈與安全設(shè)計:與模具接觸部件采用無磁不銹鋼材質(zhì),表面粗糙度 Ra≤0.02μm,符合 ISO 14644-1 Class 5 級潔凈室標(biāo)準(zhǔn),避免微粒污染(≤1 個 /ft3@0.1μm)。設(shè)備外殼采用 316L 不銹鋼,表面電解拋光處理,具備防靜電功能(表面電阻 10?-10?Ω)。配備超溫聯(lián)鎖保護(hù)(超設(shè)定值 5℃立即斷電)、過流保護(hù)、漏電保護(hù)等安全機(jī)制,符合 SEMI S2-0712 半導(dǎo)體設(shè)備安全標(biāo)準(zhǔn),適應(yīng) 100 級潔凈室的嚴(yán)苛環(huán)境。
IC 芯片封裝企業(yè):用于 IC 芯片(如 5G 芯片、AI 芯片)的模壓封裝,通過精準(zhǔn)控溫確保塑封料填充芯片間隙,封裝良率提升至 99% 以上,滿足芯片對高可靠性、小型化的需求,是 IC 封裝量產(chǎn)的核心溫控設(shè)備。
功率器件制造企業(yè):適配功率半導(dǎo)體(如 IGBT、MOSFET)的模壓封裝,通過穩(wěn)定控溫提升封裝體的散熱性能(熱阻≤0.8℃/W),保障功率器件在高負(fù)載下的運(yùn)行穩(wěn)定性,助力新能源汽車、工業(yè)控制領(lǐng)域?qū)Υ蠊β势骷膽?yīng)用。
傳感器封裝企業(yè):在 MEMS 傳感器、光電傳感器的模壓封裝中,通過精準(zhǔn)溫度控制減少封裝應(yīng)力,確保傳感器測量精度(誤差≤±0.1% FS),廣泛應(yīng)用于智能汽車、消費(fèi)電子領(lǐng)域。
半導(dǎo)體封裝研發(fā)機(jī)構(gòu):為新型封裝技術(shù)(如 SiP 系統(tǒng)級封裝、Chiplet 異構(gòu)集成)的模壓工藝研發(fā)提供可控溫環(huán)境,研究不同溫度對封裝體可靠性(如熱循環(huán)、濕熱測試)的影響,助力封裝技術(shù)突破。