真空度測試儀是電力系統(tǒng)中普遍使用的高壓電器，其核心部件是真空滅弧室，由于滅弧室是以真空條件作為工作基礎(chǔ)的，所以它不象油開關(guān)，SF6開關(guān)那樣容易檢測其質(zhì)量。傳統(tǒng)上，真空斷路器用戶判斷滅弧室真空度的方法是工頻耐壓法，這種方法只能粗略判斷真空度嚴重化的滅弧室。
真空度測試儀采用磁控放電法進行測量。將真空開關(guān)滅弧室的兩觸頭拉開一定的距離，施加電場脈沖高壓，將滅弧室置于螺線管圈內(nèi)或?qū)⑿滦碗姶啪€圈置于滅弧室外側(cè)，向線圈通以大電流，從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場。對于不同的真空管型號(管型)，由于其結(jié)構(gòu)不同，在同等觸頭開距、同等真空度、同等電場與磁場的條件下，離子電流的大小也不相同。通過實驗可以標定出各種管型的真空度與離子電流間的對應(yīng)關(guān)系曲線。當(dāng)測知離子電流后，就可以通過查詢該管型的離子電流一真空度曲線獲得該管型的真空度。
真空度測試儀常見的有破壞性測試方法和無損檢測方法。
破壞性測試方法常見的是采用針頭刺入容器頂空，通過壓力（真空度）傳感器探測獲取真空度，該測試方法在一定程度上會受到管路中空氣的影響，可以用于真空度的粗略抽查，在小頂空容器中表現(xiàn)尤為明顯。典型的應(yīng)用是用于粗略的進行密閉容器完整性測試（CCIT）評估，方法是將高真空的西林瓶（抽真空到接近0.1mbar）留樣半年到1年，然后觀察瓶內(nèi)真空度。如果里面還有一定真空度，即里面的壓力是微負壓，說明瓶子是不漏的；相反，如果里面的壓力是常壓，說明瓶子是漏的。
如果是用于工藝的優(yōu)化和標準的制定，通常會采用無損的真空度測試方法。無損的真空度測試方法常見的是激光法（即調(diào)頻光譜法（FMS）），它的基本原理是空氣中的O2、水汽、CO2會在一定波段下有激光吸收，并且會得到吸收的圖譜,吸收的激光量(在圖中是峰高或振幅)和物質(zhì)的含量成正比，其中水汽的激光吸收圖譜中的峰寬（波峰和波谷之間的橫向距離）和頂空總壓力成正比。因此，采用激光法能夠?qū)θ萜鬟M行無損真空度測試。激光法對真空度的小檢出限大約為7mbar，因此能測試出接近真實的真空度。
