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安捷倫真空泵分子泵組: TPS-移動(dòng)型渦輪分子泵組 TPS-flexy 渦輪分子泵組 TPS-mini渦輪分子泵組 TPS緊湊型渦輪分子泵組 IDP-3

真空規(guī)管及顯示儀表: 瑞士INFICON真空計(jì) Granville-Phillips真空規(guī)管及顯示器 INFICON真空規(guī)管及顯示器英國(guó)EDWARDS真空規(guī)管及顯示儀表

石英晶體膜厚控制儀: INFICON晶控探頭維修配件 MAXTEK INFICON

HTC真空閥: APC真空鐘擺閥 HTC真空蝶閥

INFICON檢漏儀: 超聲波檢漏儀易燃性氣體檢漏儀一氧化碳檢測(cè)儀冷媒檢漏儀氦質(zhì)譜檢漏儀

Htc 真空管件: Htc 金屬真空波紋（軟）管 Htc 彎頭管件 Htc 三通管件 Htc 四通/十字通管件 Htc 真空轉(zhuǎn)接管件

真空開(kāi)關(guān)及真空饋入件: 瑞士INFICON公司

HTC 真空轉(zhuǎn)接頭: HTC 管狀直通型轉(zhuǎn)接頭 HTC 圓錐形大小頭轉(zhuǎn)接頭 HTC KF轉(zhuǎn)其他形式轉(zhuǎn)接頭

石英晶振片: 美國(guó)MAXTEK晶振片美國(guó)INFICON晶振片

HTC真空角閥: HTC真空角閥-手動(dòng) HTC真空角閥-氣動(dòng) HTC Z型閥-手動(dòng) HTC Z型閥-氣動(dòng) HTC Y型閥-手動(dòng) HTC Y型閥-氣動(dòng) HTC 全金屬閥門(mén) HTC 不銹鋼波紋管密封閥門(mén) HTC 球閥

四極質(zhì)譜分析儀: 瑞士INFICON四極質(zhì)譜

真空泵: 艾克森真空泵干泵泵組復(fù)合渦輪分子泵渦輪分子泵隔膜真空泵旋片泵

HTC真空閘閥: HTC手動(dòng)－高真空閘閥 HTC手動(dòng)-超高真空閘閥 HTC氣動(dòng)-高真空閘閥 HTC氣動(dòng)-超高真空閘閥

質(zhì)量流量計(jì): Vogtlin流量計(jì) MKS流量計(jì)

HTC 真空法蘭: HTC KF法蘭系列 HTC ISO法蘭系列 HTC CF法蘭系列

HTC 中心圈: HTC KF中心圈系列 HTC ISO中心圈系列

HTC訂制真空腔體: 學(xué)術(shù)與研究單位訂制腔體批次真空訂制腔體連續(xù)式真空訂制腔體客制化模組

波前傳感器

科學(xué)相機(jī)（EMCCD）

變形鏡

低溫黑體及大面源黑體

高精度線切割機(jī)

500MM望遠(yuǎn)鏡

壓電閥及自動(dòng)壓強(qiáng)控制儀: 瑞士INFICON氣體壓強(qiáng)控制儀美國(guó)HEY壓電閥

非標(biāo)真空設(shè)備

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XT100,XT200,XT300 四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀

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XT100,XT200,XT300美國(guó)EXTORR四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀

特點(diǎn)及應(yīng)用：

•操作簡(jiǎn)單

•可靠，方便

•在線原位分析真空環(huán)境及工藝氣體

•對(duì)真空系統(tǒng)檢漏
•優(yōu)化工藝過(guò)程參數(shù)，提高鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量

•定性或定量分析監(jiān)測(cè)濺射鍍膜反應(yīng)工藝過(guò)程中真空室內(nèi)的氣體分壓強(qiáng)
在工藝中的效果

•改善質(zhì)量

•改進(jìn)工藝
•減少停機(jī)時(shí)間

•提高流片量
•縮小工藝周期

•降低成本

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