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安捷倫真空泵分子泵組: TPS-移動(dòng)型渦輪分子泵組 TPS-flexy 渦輪分子泵組 TPS-mini渦輪分子泵組 TPS緊湊型渦輪分子泵組 IDP-3

真空規(guī)管及顯示儀表: 瑞士INFICON真空計(jì) Granville-Phillips真空規(guī)管及顯示器 INFICON真空規(guī)管及顯示器英國(guó)EDWARDS真空規(guī)管及顯示儀表

石英晶體膜厚控制儀: INFICON晶控探頭維修配件 MAXTEK INFICON

HTC真空閥: APC真空鐘擺閥 HTC真空蝶閥

INFICON檢漏儀: 超聲波檢漏儀易燃性氣體檢漏儀一氧化碳檢測(cè)儀冷媒檢漏儀氦質(zhì)譜檢漏儀

Htc 真空管件: Htc 金屬真空波紋（軟）管 Htc 彎頭管件 Htc 三通管件 Htc 四通/十字通管件 Htc 真空轉(zhuǎn)接管件

真空開關(guān)及真空饋入件: 瑞士INFICON公司

HTC 真空轉(zhuǎn)接頭: HTC 管狀直通型轉(zhuǎn)接頭 HTC 圓錐形大小頭轉(zhuǎn)接頭 HTC KF轉(zhuǎn)其他形式轉(zhuǎn)接頭

石英晶振片: 美國(guó)MAXTEK晶振片美國(guó)INFICON晶振片

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四極質(zhì)譜分析儀: 瑞士INFICON四極質(zhì)譜

真空泵: 艾克森真空泵干泵泵組復(fù)合渦輪分子泵渦輪分子泵隔膜真空泵旋片泵

HTC真空閘閥: HTC手動(dòng)－高真空閘閥 HTC手動(dòng)-超高真空閘閥 HTC氣動(dòng)-高真空閘閥 HTC氣動(dòng)-超高真空閘閥

質(zhì)量流量計(jì): Vogtlin流量計(jì) MKS流量計(jì)

HTC 真空法蘭: HTC KF法蘭系列 HTC ISO法蘭系列 HTC CF法蘭系列

HTC 中心圈: HTC KF中心圈系列 HTC ISO中心圈系列

HTC訂制真空腔體: 學(xué)術(shù)與研究單位訂制腔體批次真空訂制腔體連續(xù)式真空訂制腔體客制化模組

波前傳感器

科學(xué)相機(jī)（EMCCD）

變形鏡

低溫黑體及大面源黑體

高精度線切割機(jī)

500MM望遠(yuǎn)鏡

壓電閥及自動(dòng)壓強(qiáng)控制儀: 瑞士INFICON氣體壓強(qiáng)控制儀美國(guó)HEY壓電閥

非標(biāo)真空設(shè)備

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真空鍍膜機(jī)的使用步驟

時(shí)間：2015-11-3閱讀：2112

真空鍍膜機(jī)的使用步驟如下：

電控柜操作

1. 開水泵、氣源。

2. 開總電源。

3. 開維持泵、真空計(jì)電源，真空計(jì)檔位置V1位置，等待其值小于10后，再進(jìn)入下一步操作。約需5分鐘。

4. 開機(jī)械泵、予抽，開渦輪分子泵電源、啟動(dòng)，真空計(jì)開關(guān)換到V2位置，抽到小于2為止，約需20分鐘。

5. 觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達(dá)250以后，關(guān)予抽，開前機(jī)和

高閥繼續(xù)抽真空，抽真空到達(dá)一定程度后才能開右邊的高真空表頭，觀察真空度。真空到達(dá)2×10-3以后才能開電子槍電源。

DEF-6B操作

1. 總電源。

2. 同時(shí)開電子槍控制Ⅰ和電子槍控制Ⅱ電源：按電子槍控制Ⅰ電源、延時(shí)開關(guān)，延時(shí)、電源及保護(hù)燈亮，三分鐘后延時(shí)及保護(hù)燈滅，若后門未關(guān)好或水流繼電器有故障，保護(hù)燈會(huì)常亮。

3. 開高壓，高壓會(huì)達(dá)到10KV以上，調(diào)節(jié)束流可到200mA左右，簾柵為20V/100mA，燈絲電流1.2A，偏轉(zhuǎn)電流在1~1.7之間擺動(dòng)。

關(guān)機(jī)順序

1. 關(guān)高真空表頭、關(guān)分子泵。

2. 待分子泵顯示到50時(shí)，依次關(guān)高閥、前級(jí)、機(jī)械泵，這期間約需40分鐘。

3. 到50以下時(shí)，再關(guān)維持泵。

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真空鍍膜機(jī)的使用步驟

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