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真空系統前級泵抽速選擇

時間：2016-6-14閱讀：1794
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前級泵抽速選擇
排氣口壓力低于一個大氣壓的傳輸泵如擴散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等，它們工作時需要前級泵來維持其前級壓力低于臨界值，選用的前級泵必須能將主泵的zui大氣體量排走，根據管路中，各截面流量恒等的原則有：
PnSg≥PgS 或
Sg≥Pgs/Pn
Sg－前級泵的有效抽速(l/s)
Pn－主泵臨界前級壓強(zui大排氣壓強)(l/s)
Pg－真空室zui高工作壓強(托)
S－主泵工作時在Pg時的有效抽速。(l/s)

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