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高壓氣體質量流量計是一類采用壓電晶體作為檢測元件,輸出與流量成正比的標準信號的流量儀表。既可進行氣體流量計量工 作,也可用于過程控制領域。

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布魯克斯儀器創始于1946年。總部位于美國賓夕法尼亞州。布魯克斯儀器在工業儀表行業中位列*。2008年，曾作為500強及工業控制排名的艾默生（Emerson）集團創始公司之一的布魯克斯儀器從艾默生公司中獨立出來。BROOKS高壓氣體質量流量計廠

MQ系列高壓氣體質量流量計
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熱式高壓氣體質量流量計是利用熱擴散原理測量氣體流量的儀表。傳感器由兩個基準級熱電阻（RTD）組成。一個是速度傳感器RH，一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。當這兩個RTD置于被測氣體中時，其中傳感器RH被加熱，另一個傳感器RMG用于感應被測氣體溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降。

BRONKHORST高壓氣體質量流量計，擁有專門為‘實驗室應用所設計的PC板模塊化結構。控制閥可以是一體的，也可以是分體的。可測量和控制的氣體流量范圍：
zui低流量可達0,014...0,7 mln/min
zui高流量可達 8...1670 ln/min